電液伺服閥技術(shù)誕生是液壓控制技術(shù)和液壓控制系統的發(fā)展的結果。

液壓控制技術(shù)的歷史*可追溯到公元前240年，當時(shí)一位古埃及人發(fā)明了人類(lèi)歷**個(gè)液壓伺服系統--水鐘。然而在隨后漫長(cháng)的歷史階段，液壓控制技術(shù)一直裹足不前，直到18世紀末19世紀初，才有一些重大進(jìn)展。在二戰前夕，隨著(zhù)工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術(shù)出現了突飛猛進(jìn)地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時(shí)代的產(chǎn)物。如:Askania調節器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請了射流管閥原理的。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的。而德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達及接收機械及電信號兩種輸入的雙輸入閥，并開(kāi)創(chuàng )性地使用在航空領(lǐng)域。

在二戰末期，伺服閥是用螺線(xiàn)管直接驅動(dòng)閥芯運動(dòng)的單級開(kāi)環(huán)控制閥。然隨著(zhù)控制理論的成熟及 事應用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥的;Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級閥;MIT用力矩馬達替代了螺線(xiàn)管使馬達消耗的功率更小而線(xiàn)性度更好。1950年，W.C.Moog*個(gè)發(fā)明了單噴嘴兩級伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩級伺服閥;W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級伺服閥;Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達，消除了原來(lái)浸在油液內的力矩馬達由油液污染帶來(lái)的可靠性問(wèn)題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋伺服閥。

1959年2月國外某液壓與氣動(dòng)雜志對當時(shí)的伺服閥情況作了12頁(yè)的報道，顯示了當時(shí)伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時(shí)生產(chǎn)各種類(lèi)型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠(chǎng)家為了爭奪伺服閥生產(chǎn)的霸權地位展開(kāi)了激烈地競爭?；仡櫄v史，可以看到zui終取勝的幾個(gè)廠(chǎng)家，大多數生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現代伺服閥的許多特點(diǎn)。如:第二級對*級反饋形成閉環(huán)控制;采用干式力矩馬達;前置級對功率級的壓力恢復通?？蛇_到50%;*級的機械對稱(chēng)結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時(shí)，由早期的直動(dòng)型開(kāi)環(huán)控制閥發(fā)展變化而來(lái)的直動(dòng)型兩級閉環(huán)控制伺服閥也已出現。當時(shí)的伺服閥主要用于 領(lǐng)域，隨著(zhù)太空時(shí)代的到來(lái)，伺服閥又被廣泛用于航天領(lǐng)域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等產(chǎn)品。

與此同時(shí)，隨著(zhù)伺服閥工業(yè)運用場(chǎng)合的不斷擴大，某些生產(chǎn)廠(chǎng)家研制出了專(zhuān)門(mén)使用于工業(yè)場(chǎng)合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專(zhuān)為工業(yè)場(chǎng)合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來(lái)越多的專(zhuān)為工業(yè)用途研制的伺服閥出現了。它們具有如下的特征:較大的體積以方便制造;閥體采用鋁材(需要時(shí)亦可采用鋼材);獨立的*級以方便調整及維修;主要使用在14MPa以下的低壓場(chǎng)合;盡量形成系列化、標準化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應用場(chǎng)合主要集中在高壓場(chǎng)合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設計專(zhuān)重于高壓下的使用可靠性。而隨著(zhù)伺服閥在工業(yè)場(chǎng)合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場(chǎng)合用的比例閥。其特點(diǎn)為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過(guò)*控制技術(shù)和精良的電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉換成工業(yè)場(chǎng)合的比例閥標準接口。Bosch研制出了其標志性的射流管先導級及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三級電反饋伺服閥。Vickers公司研制了壓力補償的KG 型比例閥。Rexroth、Bosch及其他公司研制了用兩個(gè)線(xiàn)圈分別控制閥芯兩方向運動(dòng)的比例閥等等。

 國內外的現狀

 市場(chǎng)情況

目前，國內生產(chǎn)伺服閥的廠(chǎng)家主要有:航空工業(yè)總公司第六O九研究所、航空工業(yè)總公司第六一八研究所、北京機床研究所、中國運載火箭技術(shù)研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所、九江中船儀表有限責任公司(四四一廠(chǎng))及中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外生產(chǎn)伺服閥的廠(chǎng)家主要有:美國 Moog公司、英國Dowty公司、美國Team公司、俄羅斯的"祖國"設計局、沃斯霍得工廠(chǎng)等，此外美國Park公司、EatonVickers公司、德國B(niǎo)osch公司、Rexroth公司等亦有自己的伺服閥產(chǎn)品。

電液伺服閥一般按力矩馬達型式分為動(dòng)圈式和永磁式兩種。傳統的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類(lèi)伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類(lèi)。目前國內生產(chǎn)伺服閥的廠(chǎng)家大部分以噴嘴擋板式為主。生產(chǎn)射流管式伺服閥形成規模及系列的只有九江中船儀表有限責任公司(四四一廠(chǎng))和中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外情況亦類(lèi)似，原專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)射流管式伺服閥的廠(chǎng)家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點(diǎn)。有些生產(chǎn)廠(chǎng)家也在研制或已推出自己的射流管式產(chǎn)品，如航空工業(yè)總公司第六O九研究所、中國運載火箭技術(shù)研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關(guān)廠(chǎng)家等。美國Moog公司還在2006年7月召開(kāi)了產(chǎn)品推廣會(huì )，推出了射流管式的D660系列產(chǎn)品，并認為該產(chǎn)品代表了今后伺服閥的發(fā)展趨勢。

當前國內在研究、生產(chǎn)及使用伺服閥方面雖然形成了一定的規模。然而生產(chǎn)的產(chǎn)品主要用于航空、航天、艦船等 領(lǐng)域，在民品*不大。同時(shí)由于各生產(chǎn)單位各自為戰、缺少合作、力量分散，很不利于伺服閥的進(jìn)一步發(fā)展，也無(wú)法形成強大的競爭力與國外產(chǎn)品進(jìn)行競爭?，F國外產(chǎn)品在國內*zui大的為Moog公司，它的產(chǎn)品占據了國內絕大部分的民品市場(chǎng)。

M3000 的構成運動(dòng)控制器
伺服控制器（MSC I）

MSC I 是帶 PLC 功能并配備高分辨率模擬輸入/輸出以及位置傳感器接口的高性能伺服控制器。其專(zhuān)門(mén)的設計可實(shí)現兩臺液壓伺服作動(dòng)器快速的閉環(huán)控制。
伺服控制器（MSC II）

MSCII 是帶 PLC 功能并配備現場(chǎng)總線(xiàn)和位置傳感器接口的高性能伺服控制器。它通過(guò)現場(chǎng)總線(xiàn)接口能夠處理復雜的多軸功能，實(shí)現快速的閉環(huán)控制。
軸控制軟件（MACS）

MACS 是基于 CoDeSys 并符合 IEC61131-3 標準的編程語(yǔ)言。它提供完整的編程、調試、模擬、參數化、可視化和跟蹤功能以及穆格專(zhuān)家設計的各種功能模塊。
擴展模塊
模擬和數字輸入/輸出模塊，配備 MSC I 和 MSC II 擴展總線(xiàn)接口。
數字輸入/輸出模塊，配備 CANOpen 接口。
帶 CANopen 或 TCP/IP 接口的顯示器。

雙噴嘴擋板式力反饋二級電液伺服閥由電磁和液壓兩部分組成。電磁部分是永磁式力矩馬達，由*磁鐵，導磁體，銜鐵，控制線(xiàn)圈和彈簧管組成。液壓部分是結構對稱(chēng)的二級液壓放大器，前置級是雙噴嘴擋板閥，功率級是四通滑閥。畫(huà)法通過(guò)反饋桿與銜鐵擋板組件相連。
力矩馬達把輸入的電信號（電流）轉換為力矩輸出。無(wú)信號時(shí)，銜鐵有彈簧管支撐在上下導磁體的中間位置，*磁鐵在四個(gè)氣隙中產(chǎn)生的極化磁通是相同的力矩馬達無(wú)力矩輸出。此時(shí)，擋板處于兩個(gè)噴嘴的中間位置，噴嘴兩側的壓力相等，滑閥處于中間位置，閥無(wú)液壓輸出；若有信號時(shí)控制線(xiàn)圈產(chǎn)生磁通，其大小和方向由信號電流決定，磁鐵兩極所受的力不一樣，于是，在磁鐵上產(chǎn)生磁轉矩（如逆時(shí)針），使銜鐵繞彈簧管中心逆時(shí)針?lè )较蚱D，使擋板向右偏移，噴嘴擋板的右側間隙減小而左側間隙增大，則右側壓力大于左側壓力，從而推動(dòng)滑閥左移。同時(shí)，使反饋桿產(chǎn)生彈性形變，對銜鐵擋板組件產(chǎn)生一個(gè)順時(shí)針?lè )较虻姆崔D矩。當作用在銜鐵擋板組件上的電磁轉矩、彈簧管反轉矩反饋桿反轉矩等諸力矩達到平衡時(shí)，滑閥停止移動(dòng)，取得一個(gè)平衡位置，并有相應的流量輸出。

MOOG進(jìn)口原裝電液伺服閥的常見(jiàn)故障
1力矩馬達部分
a.線(xiàn)圈斷線(xiàn)：引起閥不動(dòng)，無(wú)電流。
b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門(mén)不動(dòng)作。
c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。
d.緊固件松動(dòng)：原因是振動(dòng)，固定螺絲松動(dòng)等，引起零偏增大。
e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產(chǎn)生振動(dòng)，系統震蕩，嚴重的管路也振動(dòng)。
f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到zui大。
2）噴嘴擋板部分
a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴重的引起系統不穩定。
b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動(dòng)。
3)滑閥放大器部分
a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。
b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。
4）其他部分
密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。
5、運行中抗燃油的維護
系統的結構設計：汽輪機調速系統的結構對抗燃油的使用壽命有直接的影響，因此，系統設計應考慮以下因素：
1系統應安全可靠?？谷加蛻捎锚毩⒌墓苈废到y，以免礦物油、水分、等泄露至燃油中造成污染。系統管路中盡量減少死角，以利于沖洗系統。
2油箱容量大小適宜，油箱用于儲存系統的全部用油，同時(shí)還起著(zhù)分離空氣和機械雜質(zhì)的作用。如果油箱容量設計過(guò)小，抗燃油在油箱中停留時(shí)間短，起不到分離作用，會(huì )加速油質(zhì)劣化，縮短抗燃油的使用壽命。
結束語(yǔ)：
建議今后應定期對伺服閥進(jìn)行更換并送到機構進(jìn)行必要的檢測和校驗，以防止因伺服閥故障而導致閥門(mén)擺動(dòng)及負荷波形等不安全因素的發(fā)生；其次應對液壓油進(jìn)行定期檢測，定期濾油，以保證機組安全穩定運行