LC183ML640/557680-06海德漢HEIDENHAIN測量原理

測量基準
海德漢光學(xué)掃描的直線(xiàn)光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線(xiàn)－光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長(cháng)度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開(kāi)發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼尺帶上蝕刻柵線(xiàn)；典型柵距：40 µm
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線(xiàn)；典型柵距：20 μm
• DIADUR：玻璃基體上超硬鉻線(xiàn)（典型柵距：20 μm）或玻璃基體上三維鉻線(xiàn)格柵（典型柵距：8 μm）
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：不超過(guò)8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過(guò)2 μm
除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結合光電掃
描法，邊緣清晰的刻線(xiàn)是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線(xiàn)機制造。

測量法
式測量是指光柵尺或編碼器在通電時(shí)立即提供位置值并隨時(shí)供后續電子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執行參考點(diǎn)回零操作。位置信息由一系列碼編排的光柵讀取。單獨的增量刻軌信號通過(guò)細分生成位置值，同時(shí)用于生成可選的增量信號。