ls486cml520mmid329991-50sn21227光電掃描

海德漢的大多數光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無(wú)接觸，因此無(wú)磨損。光電掃描可以檢測到非常細小的光
柵，柵線(xiàn)寬度可僅數微米，并能輸出非常細小的信號周期信號。
測量基準的柵距越小，光電掃描的衍射現象越嚴重。海德漢直線(xiàn)光柵尺采用兩種掃描原理：
• 成像掃描原理用于20 µm至大約40 µm的柵距
• 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，
例如，8 µm。

成像掃描原理
簡(jiǎn)單地說(shuō)成像掃描原理是用透射光生成信號：兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩
膜彼此相對運動(dòng)。掃描掩膜的基體為透明色，而作為測量基準的光柵材料可為透明
材料也可以為反光材料。
當平行光穿過(guò)光柵時(shí)，以特定的間隔形成明暗的光影區。掃描光柵位于此處。當兩
個(gè)光柵相對運動(dòng)時(shí)，入射光進(jìn)行調制：在狹縫對齊時(shí)，光線(xiàn)通過(guò)。如果一個(gè)光柵的
刻線(xiàn)與另一個(gè)光柵的狹縫對齊，光線(xiàn)無(wú)法通過(guò)。光電池組將這些光強變化轉化成電
信號。特殊結構的掃描掩膜將光強調制為近正弦輸出信號。
光柵條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的間距越小和公差越嚴。
LC、LS和LB系列直線(xiàn)光柵尺為成像掃描原理。